洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。洁净室施工质量控制可以分为3个阶段：即准备阶段、施工阶段和验收阶段。充分领会设计意图，做好图纸会审和技术交底工作是保障洁净室施工质量的重要技术环节，发现解决在施工中难以操作的技术难题，为保证洁净室施工质量打下坚实的基础。施工中会出现各种矛盾，需要施工方与设计、建设方合作，在保证洁净室施工质量的前提下进行合理变更。如在对某洁净室改扩建工程检查中发现，原设计的风管尺寸在主体大楼楼层高度受限制的吊顶层内根本无法施工，后经施工方与设计人员和建设方协调，在不影响工程质量的前提下，将风管尺寸从方形变为扁形，既满足了风量要求，又保证了施工吊顶高度的要求。在电子行业制造车间是重要产生静电的地方，通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故，所以电子行业的无尘车间相对湿度不应低于30，这样即可以减少静电的产生，建议无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50。